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日本雅馬拓YAMATO等離子灰化機PR500

低溫等離子·經(jīng)典桶型

特點
大口徑(Φ215mm)石英反應腔。
小型一體化設計。
操作簡單的觸摸屏方式(PR510型)。

低溫等離子·經(jīng)典桶型

型號 PR500
模式 DP模式,桶型
高頻輸出功率 Max500W
頻率 13.56MHz
回調方式 自動協(xié)調
反應腔 石英①215 x305mm
反應氣體 2系統(tǒng)(O2/CF4)
控制 手動
配管材質 不銹鋼、特氟龍
外形尺寸 W438 x D520 x H760mm
重量 約60KG
電源 單相AC100V9A
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