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日本雅馬拓YAMATO等離子灰化機PR510

低溫等離子·經(jīng)典桶型

特點
大口徑(Φ215mm)石英反應(yīng)腔。
小型一體化設(shè)計。
操作簡單的觸摸屏方式(PR510型)。

低溫等離子·經(jīng)典桶型

型號 PR510
模式 DP模式,桶型
高頻輸出功率 Max500W
頻率 13.56MHz
回調(diào)方式 自動協(xié)調(diào)
反應(yīng)腔 石英①215 x305mm
反應(yīng)氣體 2系統(tǒng)(O2/CF4)
控制 觸摸屏自動控制
配管材質(zhì) 不銹鋼、特氟龍
外形尺寸 參照規(guī)格書
重量 參照規(guī)格書
電源 三相AC200V8A
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