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日本雅馬拓YAMATO等離子灰化機PR300

從樣品表面改質(zhì)到清洗的小型臺式等離子清洗機。

用途
•高分子材料表面的官能基付與一粘合性、密著性提高。通 過氧化反應(yīng),在表面生成-OH,>C=O,-COOH等官能 基(微量的水分及二氧化碳影響)。
同樣在氮氣等離子體中,氮原子被吸收在表面中,生
成-NH 2等官能基。
•硅晶圓蝕刻。
•材料表面改性(金屬、聚合物、薄膜、啕瓷等)。
•石棉預(yù)處理(膜過濾灰化)。
•從電子設(shè)備到生化市場。
•低溫灰化(高分子材料、煤炭、食品等)。
•使用玻璃和PDMS板粘貼PDMS芯片。
•表面有機物去除。

從樣品表面改質(zhì)到清洗的小型臺式等離子清洗機。

型號 PR300
模式 DP模式,桶型
高頻輸出 Max300W
頻率 13.56MHz
同調(diào)方式 手動2軸同調(diào)方式
反應(yīng)腔 超硬質(zhì)玻璃064x160mmx3室
反應(yīng)氣體 1系統(tǒng)(氧氣)流量計
控制 自動減壓、自動密閉閥
配管材質(zhì) 不銹鋼、特氟龍、銅、銅合金
外形尺寸 W438xD520xH556mm
重量 約36kg
電源 AC100V7A
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