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日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機(jī)PDC510

適用于研究開發(fā)的小型等離子清洗機(jī)。

■操作性·功能 
●射頻13.56Mhz0-300W高功率機(jī)型,發(fā)生器自動(dòng)匹配,無需調(diào)節(jié)反射波,進(jìn)一步增加的操作的便捷性。 
●標(biāo)準(zhǔn)配備數(shù)字式皮拉尼傳感器,實(shí)時(shí)顯示真空度,使得控制更為精確。 
●平行平板腔體非常適合于實(shí)驗(yàn)室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品,無需擔(dān)憂因?yàn)榍惑w材質(zhì)的原因?qū)е聵悠肥艿轿廴尽?nbsp;
■安全性·保護(hù) 
●裝載有溫度、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報(bào)警燈,可實(shí)時(shí)監(jiān)測和了解機(jī)器的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)。 
●裝載有過電流漏電保護(hù)開關(guān)、自診斷回路、異常時(shí)蜂鳴器報(bào)警等安全功能。 
■產(chǎn)品優(yōu)勢(shì) 
●等離子清洗機(jī)清洗效果好,清洗效率高,功率大,應(yīng)用范圍廣。 
●對(duì)清洗樣品,沒有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求。 
●等離子清洗過程中,溫升很小,基本可達(dá)到常溫處理。 
●高效的特制電極,是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。 
●特制電極和托盤結(jié)構(gòu),可保證樣品可得到全面有效的清洗。

適用于研究開發(fā)的小型等離子清洗機(jī)。

型號(hào) PDC510
等離子模式 RIE/DP
電極構(gòu)造 平行平板(固定)
高頻輸出 Max500W
頻率 13.56MHz
控制?顯示 液晶觸摸屏
反應(yīng)室尺寸 W500 x D300 x H200mm
電極尺寸 W400 x D200mm
反應(yīng)室材質(zhì)
反應(yīng)氣體 2系統(tǒng)(Ar、O2)
填充氣體 N2或干燥空氣
反應(yīng)氣體流量控制 聚合控制器
真空泵 油泵(約500L/分)標(biāo)配
氣體導(dǎo)入口 反應(yīng)氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè)
外形尺寸 W700 x D700 x H1285mm
重量 約 180kg
電源 三相AC200V8A
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