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日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機(jī)PDC610

小型、多段式等離子清洗機(jī)。

用途 
●提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理 
●灰化、蝕刻處理 
●塑料封裝前處理 
●印刷基板鍍層前處理 
●LED關(guān)聯(lián)部品處理 
●電子部品清洗 
●光刻膠剝離或表面殘留物去除 
●光學(xué)、金屬、機(jī)械部品等精密部件的清洗 
●包含氟化樹脂的樹脂類產(chǎn)品表面改質(zhì) 
●FCC對應(yīng) 
特征 
●600W的小型高輸出功率 
●電極可選擇1·2·3段(采購時(shí)指定) 
●可處理縱型的試料收納盒 
●可選擇RIE/DP模式(采購時(shí)指定) 
●數(shù)據(jù)記錄器(選配) 
●適配點(diǎn)記憶功能(選配) 
 

小型、多段式等離子清洗機(jī)。

型號(hào) PDC610
等離子模式 RIE/DP(固定模式)
電極構(gòu)造 3段獨(dú)立平行平板(固定)
高頻輸出 Max600W
頻率 13.56MHz
控制·顯示方式 PLC·觸摸屏
反應(yīng)腔尺寸 W350×D270×H300mm
反應(yīng)腔材質(zhì) A5052
反應(yīng)氣體 2系統(tǒng)(Ar、O2)
填充氣體 N2或干燥空氣
真空泵 油泵(約345L/分)·標(biāo)配
外形尺寸 W600×D722×H700mm
外裝材質(zhì) 不銹鋼
電源 3相,AC200,50/60Hz,15A
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