陜西儀誠(chéng)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備有限公司成立于2012年，是北京東南儀誠(chéng)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備有限公司在十三朝古都西安設(shè)立的陜西分公司，公司致力于國(guó)內(nèi)外知名實(shí)驗(yàn)室科研儀器和實(shí)驗(yàn)室教學(xué)儀器的銷售推廣和售后服務(wù)，客戶涉及各大科研院所、高校、醫(yī)院、企業(yè)、第三方檢測(cè)和疾控，藥監(jiān)等政府職能部門(mén)。
等離子清洗機(jī)
日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機(jī)V1000X
13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗機(jī)，搭載RIE·DP 雙模式。
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡(jiǎn)單”的臺(tái)式
高性能型號(hào)，調(diào)取數(shù)據(jù)簡(jiǎn)單，以電子材料為中心，可對(duì)應(yīng)
多種用途。
●可變更電極構(gòu)造提高等離子效果。
●搭載高精度適配器，高性能RF電源。
●可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。
特征
●硅晶圓的灰化及蝕刻
●基板表面污垢處理
●IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
●半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗
●自然氧化膜·有機(jī)物去除
●界面活性處理
●表面污染物去除
高性能型號(hào)，調(diào)取數(shù)據(jù)簡(jiǎn)單，以電子材料為中心，可對(duì)應(yīng)
多種用途。
●可變更電極構(gòu)造提高等離子效果。
●搭載高精度適配器，高性能RF電源。
●可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。
特征
●硅晶圓的灰化及蝕刻
●基板表面污垢處理
●IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
●半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗
●自然氧化膜·有機(jī)物去除
●界面活性處理
●表面污染物去除
13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗機(jī)，搭載RIE·DP 雙模式。
| 等離子模式 | DP/RIE |
|---|---|
| 高頻電源 | 13.56MHz |
| 輸出功率 | Max1000 & 1500W |
| 有效電極尺寸 | W300×D300mm |
| 電極 | 2段電極（獨(dú)立） |
| 反應(yīng)氣體 | 聚合控制器2系統(tǒng)（填充氣路另行安裝） |
| 真空泵（標(biāo)配） | 約1500L/min |
| 安全裝置 | 門(mén)檢測(cè)開(kāi)關(guān)、聯(lián)鎖機(jī)構(gòu)、緊急停止開(kāi)關(guān)、溫度過(guò)升防止器等 |
