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日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機YSP600U

樣品傳輸系統(tǒng)為模塊式,便于組合。

用途
●提高各種材料的粘接性、表面改質處理 
●清洗各類基板。 
●電子部品、材料表面改質。 
●去除有機物和自然氧化膜。 
特點 
●體積小,節(jié)省空間。 
●選用小型腔體,反應效率高。 
●更容易嵌入生產線使用。 
●可通過操作面板自由切換等離子模式。 
●配備冷卻反應臺

樣品傳輸系統(tǒng)為模塊式,便于組合。

模式 RIE(DP模式選購)
高頻輸功率 600W
反應臺尺寸 W300×D300mm
反應氣體 2進氣系統(tǒng)(氧氣、氬氣)
反應氣體流量控制 質量流量控制器
氣體導入口 反應氣體2個、填充氣體1個、空氣1個
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