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日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機(jī)YSP2KU

樣品傳輸系統(tǒng)為模塊式,便于組合。

用途
●提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理 
●清洗各類基板。 
●電子部品、材料表面改質(zhì)。 
●去除有機(jī)物和自然氧化膜。 
特點(diǎn) 
●體積小,節(jié)省空間。 
●選用小型腔體,反應(yīng)效率高。 
●更容易嵌入生產(chǎn)線使用。 
●可通過操作面板自由切換等離子模式。 
●配備冷卻反應(yīng)臺(tái)

樣品傳輸系統(tǒng)為模塊式,便于組合。

模式 RIE(DP模式選購)
高頻輸功率 2000W
反應(yīng)臺(tái)尺寸 W600×D600mm
反應(yīng)氣體 2進(jìn)氣系統(tǒng)(氧氣、氬氣)
反應(yīng)氣體流量控制 質(zhì)量流量控制器
氣體導(dǎo)入口 反應(yīng)氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè)、空氣1個(gè)
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