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日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機(jī)YSP63FA

可進(jìn)行樣品傳輸系統(tǒng)定制

特點 
●操作快捷方便:放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒。 
●軟性基板也可以進(jìn)行傳送操作。 
●傳送速度可在Hi-Low間調(diào)節(jié)?!窨赏ㄟ^網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行遠(yuǎn)程操作(選購品)。

可進(jìn)行樣品傳輸系統(tǒng)定制

模式 RIE(DP模式選購)
高頻輸功率 600W
反應(yīng)臺尺寸 W385×D362mm
反應(yīng)氣體 2進(jìn)氣系統(tǒng)(氧氣、氬氣)
反應(yīng)氣體流量控制 質(zhì)量流量控制器
氣體導(dǎo)入口 反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個、空氣1個
內(nèi)腔尺寸 W395×D378×H45mm(內(nèi)尺寸)
外形尺寸 W1860×D1100×H1800mm
真空泵 旋轉(zhuǎn)式真空泵(約500L/min)
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